項目編號：Dlmu-FS-20240396
項目名稱：氧化鎵外延片采購
公示時間：2024年07月30日- 2024年08月02日
擬成交單位 ：天津市萬德思諾國際貿(mào)易有限公司
采購預(yù)算：130000
采購內(nèi)容：（001）HVPE外延 4寸氧化鎵外延片,，共兩片 襯底主要參數(shù)指標(biāo)： 晶向：（001），厚度：620±20 微米,，襯底電阻0.007~0.042Ωcm 外延層主要參數(shù)指標(biāo)： 導(dǎo)電類型：n type,，濃度1e16±0.5e16cm-3,，厚度10±4 微米 需原廠切割：一片切割成10×10mm,，一片切割成8×8mm,。 主要技術(shù)指標(biāo)如下：氧化鎵片 描述 | 參數(shù)值 | 單位 | 襯底層參數(shù) | 襯底厚度 | 620±20 | μm | 電阻率 | 0.007~0.042 | Ω?cm | 半峰全寬 | 100軸 ≦350 | arcsec | 010軸 ≦350 | arcsec | 襯底晶向 | 001 | / | 正面拋光 | CMP | / | 背面拋光 | Grinding | / | 摻雜 | Sn | / | 外延層參數(shù) | 載流子濃度 | 1±0.5E16 | / | 外延厚度 | 10±4 | μm | 摻雜 | Si＋Cl | / | 加工參數(shù) | 精密切割 | 10×10 | mm | 精密切割 | 8×8 | mm |
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單一來源理由：本團(tuán)隊申請購買（001）HVPE外延 4寸氧化鎵外延片,。 現(xiàn)在全世界可以做正式產(chǎn)品只有日本NCT和美國Kyma兩家,，在做研發(fā)的有德國IKZ一家以及國內(nèi)三家,， 日本NCT公司是國際上最早從事氧化鎵商業(yè)化銷售的公司，也是目前國際上氧化鎵品質(zhì)做的最好的,，此公司可提供產(chǎn)品（001）HVPE外延 2寸及4寸,。 美國Kyma公司只能做出上述（010）襯底產(chǎn)品，其他的產(chǎn)品全都沒有,。 德國IKZ目前還在研究階段,，暫時還沒產(chǎn)品推出,。 國內(nèi)山東大學(xué)晶體所，上海光機(jī)所,、中電46所這3家研究單位主要從事氧化鎵單晶材料的研究,，但目前的研究進(jìn)度還停留在100面。北京銘鎵半導(dǎo)體目前可提供的產(chǎn)品只有100向及001向的小尺寸襯底片,，外延片還在驗證階段,。北京鎵和半導(dǎo)體和杭州鎵仁半導(dǎo)體目前只能提供小尺寸的襯底片，無外延片產(chǎn)品,。 綜上所述,，國內(nèi)外只有日本NCT公司能提供（001）HVPE外延 4寸氧化鎵外延片產(chǎn)品，而天津市萬德思諾國際貿(mào)易有限公司是其氧化鎵外延片的獨家代理,。故擬采用校內(nèi)單一來源采購方式采購,。
論證小組成員：曹菲,宋延興,包夢恬
有關(guān)單位或個人如對本項目采用校內(nèi)單一來源采購方式有異議，應(yīng)在公示期內(nèi)以書面形式向大連海事大學(xué)招投標(biāo)與采購中心反映,。
聯(lián)系人：崔老師
聯(lián)系電話：13352209224
國有資產(chǎn)與實驗室管理處
招投標(biāo)與采購中心
2024年07月30日
